Spin-Coating
Das Spin Coating (englisch für „Rotationsbeschichtung“) ist eine häufig in der Industrie angewendete Methode zur Auftragung dünner und homogener Beschichtungen von Materialen auf einem Substrat. Mittels Vakuums wird das Substrat auf einem Drehteller fixiert und die gewünschte Menge an Beschichtungslösung aufgetragen. Der Prozess lässt sich in Teilprozesse untergliedern. Die Lösung wird im ersten Teilschritt in die Mitte des Substrats gegeben und anschließend wird der Drehteller in Rotation versetzt, wobei sich die Lösung aufgrund der Zentrifugalkraft auf dem Substrat verteilt. Während des Rotationsvorgangs verdampft das leichtflüchtige Lösungsmittel und die schwerflüchtige Komponente bleibt als Film auf dem Substrat zurück. Ein zusätzlicher Trocknungsschritt wird des Öfteren durchgeführt, um die mechanische Stabilität und Haftung der Beschichtung zum Substrat zu erhöhen. Die Beschichtungsdicke wie auch die Eigenschaft der Beschichtung können über die Parameter der Beschichtungslösung (Viskosität, Trocknungsgeschwindigkeit, Konzentration, Oberflächenspannung, usw.) und der Rotationgeschwindigkeit variiert werden.